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气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，以下简称MFC）可对气体的质量流量进行精密测量和控制；气体质量流量计（Mass Flow Meter，以下简称MFM）可对气体的质量流量进行精密测量。本产品应用的行业主要有：化学工业、石化工业、LNG工业、半导体材料和微电子工业、医药工业、特种材料研究、环保和真空行业等。使用本产品的设备主要有：真空镀膜设备、混气配气设备、光纤熔炼设备、晶体制备设备、微电子设备、微反应装置、气相色谱仪及其它分析仪器等。

本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟/数字信号转换器（AD/DA转换器）配合计算机使用

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，以下简称MFC）可对气体的质量流量进行精密测量和控制；气体质量流量计（Mass Flow Meter，以下简称MFM）可对气体的质量流量进行精密测量。本产品应用的行业主要有：化学工业、石化工业、LNG工业、半导体材料和微电子工业、医药工业、特种材料研究、环保和真空行业等。使用本产品的设备主要有：真空镀膜设备、混气配气设备、光纤熔炼设备、晶体制备设备、微电子设备、微反应装置、气相色谱仪及其它分析仪器等。

本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟/数字信号转换器（AD/DA转换器）配合计算机使用。

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，以下简称MFC）可对气体的质量流量进行精密测量和控制；气体质量流量计（Mass Flow Meter，以下简称MFM）可对气体的质量流量进行精密测量。本产品应用的行业主要有：化学工业、石化工业、LNG工业、半导体材料和微电子工业、医药工业、特种材料研究、环保和真空行业等。使用本产品的设备主要有：真空镀膜设备、混气配气设备、光纤熔炼设备、晶体制备设备、微电子设备、微反应装置、气相色谱仪及其它分析仪器等。

本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟/数字信号转换器（AD/DA转换器）配合计算机使用。

美国 ALICAT 20 系列标准型气体质量流量计，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有 NIST 可溯源校准证书。
可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合。

美国 ALICAT 03 系列质量流量控制器，采用了 MEMS 热式原理，保证流量控制的稳定性和精确度，测量和控制范围高达 0.1 -100% 满量程，可以满足更多的客户流量控制应用场合。
03 系列采用了铝材质主体，FKM 密封，可以满足绝大多数兼容需求。使用上，配备了 MODBUS RTU via RS-485/RS-232 和 4-20mA/0-5 Vdc，通过 JST GH 6 针工业插头可轻松实现数字、模拟信号的测控。维护上唯一影响设备寿命与精度的是被测气体的品质，该系列设计用于测控洁净、干燥、无腐蚀性的气体。仪器无需定期清洁。如有必要，用柔软的干抹布擦拭设备外部即可。

美国 ALICAT 21 系列标准型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差专利技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有 NIST 可溯源校准证书。可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度，适用于多种流量测控场合。设备采用快速稳定的优质电磁阀以及优化的 PID 调校，可达到优于 100 ms 的控制速度，并保持极佳稳定性，并有超低压损产品可供您选择。